上海：《半导体行业污染物排放标准（征求意见稿）》

日前，上海发布《半导体行业污染物排放标准（征求意见稿）》。详情如下：

前 言

本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则 第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件于2006年11月1日首次发布，本次修订为第一次修订。

本文件对DB31/374-2006的主要修订之处如下：

——调整了水污染物排放标准的标准分级；将原第一类污染物两个级别的排放标准调整为执行同一级别的排放标准，将原第二类污染物三个级别的直接排放标准调整为同一个级别；调整了大气污染物排放标准的排放速率控制方式，将原来按不同排气筒高度制定标准调整为执行同一标准；

——调整了污染物控制项目：增加了水污染物控制项目石油类、总氮、总磷、阴离子表面活性剂、总锌、综合毒性；增加了大气污染物控制项目颗粒物、氯气、氮氧化物、苯、锡及其化合物、砷化氢、磷化氢、非甲烷总烃、氰化氢；

——调整了部分污染物项目的排放限值；收严了悬浮物、化学需氧量、五日生化需氧量、总有机碳等10项水污染物项目的排放限值；收严了硫酸雾、氯化氢、挥发性有机物等3项大气污染物的排放限值；

——增加了厂界大气污染物控制点浓度限值；

——更新了部分污染物项目的测定分析方法。

本文件由上海市生态环境局提出、归口并组织实施。

本文件起草单位：上海市环境科学研究院。

引 言

为贯彻《中华人民共和国环境保护法》《中华人民共和国大气污染防治法》《中华人民共和国水污染防治法》《上海市环境保护条例》《上海市大气污染防治条例》，引导半导体行业企业生产工艺和污染治理技术的进步和可持续发展，结合上海市的实际情况，对DB31/374-2006《半导体行业污染物排放标准》进行修订。

本文件实施之日起，新制定或新修订的国家大气污染物排放标准严于本文件限值，以及国务院生态环境主管部门或市人民政府发布执行特别排放限值公告的，按照从严原则，按适用范围执行相应大气污染物排放标准。恶臭污染物执行DB31/1025。本文件实施后不再执行上海市《大气污染物综合排放标准》（DB31/933-2015）。环境影响评价文件或排污许可证要求严于本文件或地方标准时，按照批复的环境影响评价文件或排污许可证执行。

本文件由上海市人民政府202□年□□月□□日批准。

半导体行业污染物排放

1 范围

本文件规定了半导体行业企业水和大气污染物排放控制要求、监测和监督管理要求。

本文件适用于半导体行业企业或生产设施的水和大气污染物排放管理，以及建设项目的环境影响评价、环境保护设施设计、竣工环境保护验收、排污许可证核发及其投产后的水和大气污染物排放管理。

本文件规定的水污染物排放控制要求适用于半导体行业企业直接或间接向其法定边界外排放水污染物的行为。

2 规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB/T 7466 水质 总铬的测定

GB/T 7467 水质 六价铬的测定 二苯碳酰二肼分光光度法

GB/T 7470 水质 铅的测定 双硫腙分光光度法

GB/T 7471 水质 镉的测定 双硫腙分光光度法

GB/T 7475 水质 铜、锌、铅、镉的测定 原子吸收分光光度法

GB/T 7484 水质 氟化物的测定 离子选择电极法

GB/T 7485 水质 总砷的测定 二乙基二硫代氨基甲酸银分光光度法

GB/T 7494 水质 阴离子表面活性剂的测定 亚甲蓝分光光度法

GB/T 11893 水质 总磷的测定 钼酸铵分光光度法

GB/T 11900 水质 痕量砷的测定 硼氢化钾-硝酸银分光光度法

GB/T 11901 水质 悬浮物的测定 重量法

GB/T 11907 水质 银的测定 火焰原子吸收分光光度法

GB/T 11910 水质 镍的测定 丁二酮肟分光光度法

GB/T 11912 水质 镍的测定 火焰原子吸收分光光度法

GB/T 16157 固定污染源排气中颗粒物测定与气态污染物采样方法

GB/T 16489 水质 硫化物的测定 亚甲基蓝分光光度法

GB 37822 挥发性有机物无组织排放控制标准

HJ/T 27 固定污染源排气中氯化氢的测定 硫氰酸汞分光光度法

HJ/T 28 固定污染源排气中氰化氢的测定 异烟酸-吡唑啉酮分光光度法

HJ/T 30 固定污染源排气中氯气的测定 甲基橙分光光度法

HJ/T 38 固定污染源排气中非甲烷总烃的测定 气相色谱法

HJ/T 42 固定污染源排气中氮氧化物的测定 紫外分光光度法

HJ/T 43 固定污染源排气中氮氧化物的测定 盐酸萘乙二胺分光光度法

HJ/T 55 大气污染物无组织排放监测技术导则

HJ/T 60 水质 硫化物的测定 碘量法

HJ/T 65 大气固定污染源 锡的测定 石墨炉原子吸收分光光度法

HJ/T 91.1 污水监测技术规范

HJ/T 195 水质 氨氮的测定 气相分子吸收光谱法

HJ/T 199 水质 总氮的测定 气相分子吸收光谱法

HJ/T 200 水质 硫化物的测定 气相分子吸收光谱法

HJ/T 373 固定污染源监测质量保证与质量控制技术规范（试行）

HJ/T 397 固定源废气监测技术规范

HJ/T 399 水质 化学需氧量的测定 快速消解分光光度法

HJ 484 水质 氰化物的测定 容量法和分光光度法

HJ 485 水质 铜的测定 二乙基二硫代氨基甲酸钠分光光度法

HJ 486 水质 铜的测定 2，9-二甲基-1，10-菲啰啉分光光度法

HJ 487 水质 氟化物的测定 茜素磺酸锆目视比色法

HJ 488 水质 氟化物的测定 氟试剂分光光度法

HJ 489 水质 银的测定 3,5-Br2-PADAP分光光度

HJ 490 水质 银的测定 镉试剂2B分光光度法

HJ 493 水质 采样样品的保存和管理技术规定

HJ 494 水质 采样技术指导

HJ 495 水质 采样方案设计技术指导

HJ 501 水质 总有机碳的测定 燃烧氧化-非分散红外吸收法

HJ 505 水质 五日生化需氧量(BOD5)的测定稀释与接种

HJ 533 环境空气和废气 氨的测定 纳氏试剂分光光度法

HJ 534 环境空气 氨的测定 次氯酸钠-水杨酸分光光度法

HJ 535 水质 氨氮的测定 纳氏试剂分光光度法

HJ 536 水质 氨氮的测定 水杨酸分光光度法

HJ 537 水质 氨氮的测定 蒸馏-中和滴定法

HJ 544 固定污染源废气 硫酸雾的测定 离子色谱法（暂行）

HJ 547 固定污染源废气 氯气的测定 碘量法（暂行）

HJ 548 固定污染源废气 氯化氢的测定 硝酸银容量法（暂行）

HJ 549 环境空气和废气 氯化氢的测定 离子色谱法(暂行)

HJ 583 环境空气 苯系物的测定 固体吸附/热脱附-气相色谱法

HJ 584 环境空气 苯系物的测定 活性炭吸附/二硫化碳解吸-气相色谱法

HJ 604 环境空气 总烃、甲烷和非甲烷总烃的测定 直接进样-气相色谱法

HJ 636 水质 总氮的测定 碱性过硫酸钾消解紫外分光光度法

HJ 637 水质 石油类和动植物油的测定 红外分光光度法

HJ 657 空气和废气 颗粒物中铅等金属元素的测定 电感耦合等离子体质谱法

HJ 659 水质 氰化物等的测定 真空检测管-电子比色法

HJ 644 环境空气 挥发性有机物的测定 吸附管采样－热脱附/气相色谱－质谱法

HJ 665 水质 氨氮的测定 连续流动-水杨酸分光光度法

HJ 666 水质 氨氮的测定 流动注射-水杨酸分光光度法

HJ 667 水质 总氮的测定 连续流动-盐酸萘乙二胺分光光度法

HJ 668 水质 总氮的测定 流动注射-盐酸萘乙二胺分光光度法

HJ 670 水质 磷酸盐和总磷的测定 连续流动-钼酸铵分光光度法

HJ 671 水质 总磷的测定 流动注射-钼酸铵分光光度法

HJ 688 固定污染源废气 氟化氢的测定 离子色谱法（暂行）

HJ 692 固定污染源废气 氮氧化物的测定 非分散红外吸收法

HJ 693 固定污染源废气 氮氧化物的测定 定电位电解法

HJ 694 水质 汞、砷、硒、铋和锑的测定 原子荧光法

HJ 700 水质 65种元素的测定 电感耦合等离子体质谱法

HJ 732 固定污染源废气 挥发性有机物的采样 气袋法

HJ 734 固定污染源VOCs的测定 固相吸附-热脱附-气相色谱-质谱法

HJ 759 环境空气 挥发性有机物的测定 罐采样/气相色谱-质谱法

HJ 776 水质 32种元素的测定 电感耦合等离子体发射光谱法

HJ 777 空气和废气 颗粒物中金属元素的测定 电感耦合等离子体发射光谱法

HJ 819 排污单位自行监测技术指南 总则

HJ 823 水质 氰化物的测定 流动注射-分光光度法

HJ 826 水质 阴离子表面活性剂的测定 流动注射-亚甲基蓝分光光度法

HJ 828 水质 化学需氧量的测定 重铬酸盐法

HJ 836 固定污染源废气 低浓度颗粒物的测定 重量法

HJ 905 恶臭污染环境监测技术规范

HJ 908 水质 六价铬的测定 流动注射-二苯碳酰二肼光度法

HJ 944 排污单位环境管理台账及排污许可证执行报告技术规范 总则（试行）

HJ 970 水质 石油类的测定 紫外分光光度法（试行）

HJ 1069 水质 急性毒性的测定 斑马鱼卵法

HJ 1132 固定污染源废气 氮氧化物的测定 便携式紫外吸收法

HJ 1147 水质 pH值的测定 电极法

《污染源自动监控管理办法》（国家环境保护总局令 第28号）

《环境监测管理办法》（国家环境保护总局令 第39号）